四川真空腔体加工,伴随着真空镀膜设备的持续运用,真空镀膜机镀膜机腔体的测漏是不可或缺的,真空镀膜机测漏是在镀膜机內部的真空降低到一定的程度的情况下,如0。5mbar以上的情况下,拿氮气喷在猜疑有漏的地区,或是查验规范维护保养时动到的位置。这时必须有些人观查测漏仪的漏率标示值的转变。当漏率升高或漏率值转变强烈的情况下,立即强调漏过地理位置,并做标记。
1。将氦质谱检漏仪HLT560联接到泵组前的测漏口边。
2。运行测漏仪,测漏仪逐渐提取镀膜机腔体中的气体,与此同时运行镀膜设备的泵组。
3。在镀膜机腔体內部的真空降低到一定水平(0。5mbar)下列的情况下,,将氮气喷在疑是有漏的地区,或是查验规范维护保养时动到的位置。这时观查测漏仪的漏率转变。当漏率升高或漏率值转变强烈的情况下,立即标识漏过部位。
4。全部可疑问都检验进行后,关掉测漏仪,停住镀膜机的泵组并将镀膜机腔体开启,将检验出的漏过开展解决(如拆换密封环,清理等),解决进行后,再依照以上流程查验一遍,直到全部漏过都被消除,测漏全过程就完成了。
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